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洁净室及相关受控环境 第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求

标 准 号： GB/T 25915.12-2021
替代情况：
发布单位： 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位： 中天道成（苏州）洁净技术有限公司、中国电子工程设计院有限公司
发布日期： 2021-10-11
实施日期： 2022-05-01
点 击 数：
更新日期： 2022年01月27日
下载地址：点击这里 5.08 MB
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内容摘要

本标准给出了监测粒径限值不超过0.1微米（100nm）的纳米尺度粒子浓度的技术要求。

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