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洁净室及相关受控环境 第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求

标 准 号: GB/T 25915.12-2021
替代情况:
发布单位: 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位: 中天道成(苏州)洁净技术有限公司、中国电子工程设计院有限公司
发布日期: 2021-10-11
实施日期: 2022-05-01
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更新日期: 2022年01月27日
下载地址:点击这里 5.08 MB
下载点数:20点(VIP会员免费)
内容摘要

本标准给出了监测粒径限值不超过0.1微米(100nm)的纳米尺度粒子浓度的技术要求。

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