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洁净室及相关受控环境 第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测

标 准 号: GB/T 25915.2-2021
发布单位: 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位: 陕西中电精泰电子工程有限公司、派欧尼尔环境净化工程(北京)有限公司等
发布日期: 2021-08-20
实施日期: 2022-03-01
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更新日期: 2022年01月27日
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内容摘要

本文件规定了监测计划的基本要求。这个监测计划依据所测量的空气中悬浮粒子浓度或对其有影响的其他参数,监测洁净室或洁净区按粒子浓度划分的空气洁净度方面的性能。
本文件适用于粒径0.1 um~5um粒子浓度的监测。

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